报告题目：压电单晶及其薄膜在声表面波器件中的应用

报告时间：5月12日 14:30

报告地点：激光所一楼报告厅

报告摘要：

中高端射频声波滤波器是《科技日报》报道的35项“卡脖子”技术之一，当前国际形势下，发展自主的中高端器件是大势所趋。滤波器主要功能是滤除通信频带带外干扰和噪声，以满足射频系统和通讯协议对于信噪比的需求，是射频前端模块中的核心元器件。通过在铌酸锂压电单晶上沉积金属电极制备的声表面波滤波器件，可以大规模应用于移动通信系统，在5G时代具有举足轻重的地位。随着射频前端的发展，移动设备对声表面波滤波器的数量和性能要求如宽带宽、低插入损耗、高温度稳定性及杂波抑制能力等在不断增长。为满足以上需求，需要解决如何获得较大的滤波器通带宽度、如何抑制向衬底底部辐射的体声波以及如何抑制器件通带内出现的杂波这三个关键的技术问题。可以通过合理选择压电单晶材料的切型和器件设计参数以获取足够大的机电耦合系数，从而满足器件性能要求的带宽，通过深度方向的闭合波导设计限制向器件底部的体声波能量泄露，并通过合理设计器件的横向波导结构来抑制横向杂波模式。通过smart cut工艺制备的铌酸锂压电单晶薄膜层状结构衬底，可以有效的改善声表面波器件的机电耦合系数，抑制体声波能量辐射并削弱通带内的杂波强度。这种通过利用复合结构衬底来改善器件性能的方法暗示着我们可以通过改善晶体材料局部或全局的性质来获取最佳的器件性能。本报告将简述铌酸锂单晶体块衬底和铌酸锂单晶薄膜复合结构对声表面波器件特性的影响，并分析薄膜复合结构对器件性能改善的内在机理，从而探讨面向声表面波器件设计的铌酸锂晶体材料的发展方向。

报告人简介：

唐供宾毕业于上海交通大学和日本千叶大学，获得双博士学位。毕业后加入国际射频三巨头之一的Skyworks公司从事高性能声波器件的研究，负责创建滤波器通用设计、分析平台，完成或完善了耦合模模型、分层级联算法等，并基于该平台成功设计了一系列低插损、良好温度稳定性的射频声波滤波器产品，获得思佳讯2018到2020年度的“天空之星”荣誉。现任山东大学新一代半导体材料集成攻关大平台教授、山东大学齐鲁青年学者。其长期致力于声表面波理论与技术，高性能压电薄膜层状结构声表面波滤波器的研究。已发表SCI论文15篇，已授权日本发明专利1项，美国发明专利5项。

邀请人：曹丙强 教授